近日，萬業(yè)企業(yè)(600641,股吧)旗下上海凱世通半導(dǎo)體有限公司通過上海市科學(xué)技術(shù)委員會公示的2020年度上海市科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化項目評審，承擔(dān)的“集成電路設(shè)備射頻電源系統(tǒng)研發(fā)與驗證”項目成功進(jìn)入上海市2020年度“科技創(chuàng)新行動計劃”集成電路科技支撐專項擬立項項目名單。這是凱世通繼去年“高能離子注入機(jī)關(guān)鍵技術(shù)研究與樣機(jī)驗證”項目被正式列入上海市2019年度“科技創(chuàng)新行動計劃”之后再度獲得政府及業(yè)界專家肯定。

　　“科技創(chuàng)新行動計劃”項目是由上海市科學(xué)技術(shù)委員為推進(jìn)實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，加快建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心而建設(shè)的科技項目�！凹�成電路設(shè)備射頻電源系統(tǒng)研發(fā)與驗證”項目是由凱世通研發(fā)團(tuán)隊潛心研究深耕的關(guān)鍵技術(shù)，針對集成電路離子注入機(jī)對射頻電源及匹配器高效、穩(wěn)定可靠要求，通過優(yōu)化頂層設(shè)計方案，著重解決射頻電源的技術(shù)瓶頸，研制適用于集成電路設(shè)備的5KW/13.56MHz射頻電源系統(tǒng)和匹配器樣機(jī)，形成射頻電源系統(tǒng)在離子注入機(jī)等半導(dǎo)體裝備的批量應(yīng)用。

　　萬業(yè)企業(yè)表示，未來將繼續(xù)加大凱世通集成電路業(yè)務(wù)的資金投入和支持強(qiáng)度，緊抓國產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備剛性需求增加的時機(jī)，加速集成電路核心設(shè)備離子注入機(jī)的多款產(chǎn)品商用推進(jìn)。在今年上半年，由凱世通開發(fā)的設(shè)備關(guān)鍵部件離子注入平臺已率先得到客戶驗收并實現(xiàn)銷售收入，后續(xù)也將盡快完成低能大束流離子注入機(jī)設(shè)備在國內(nèi)晶圓制造產(chǎn)線的驗證工作。此外，公司將繼續(xù)深化戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型，以“外延并購+產(chǎn)業(yè)整合”雙輪驅(qū)動發(fā)力轉(zhuǎn)型，同時通過上海半導(dǎo)體裝備材料基金深入布局集成電路裝備材料核心資產(chǎn)，積極開展“集成電路+投資+產(chǎn)業(yè)園”的“三駕馬車”創(chuàng)新模式探索，攻堅集成電路裝備材料，致力成為一家在國內(nèi)外擁有一定競爭力和影響力的高科技上市公司。

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